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貨號
GKI-22
服務
參數定制,免費培訓,終身維護,售后無憂
主要配置
蒸發腔體
蒸發腔體為304不銹鋼,并有觀察窗
真空泵
配備冷凝泵或分子泵和無油機械泵
真空閥門
氣動控制高真空插板閥
蒸發源
多坩堝電子束蒸發源
樣品室
樣品臺
頂部安裝旋轉的樣品臺或側面安裝的轉角樣品臺
膜厚檢測
晶振膜厚監控
真空測量
寬量程真空計用于測量真空和粗抽計
主要技術指標
極限真空度
優于fkh-8托
裝樣能力
一個最大8英寸的平板基片或多個小基片
蒸發速率分辨率
0.05 Angstroms/sec
膜厚分辨率
0.02 Angstroms
技術資料:技術資料包含產品說明書、電鏡圖、成分表、材質單、粒度分析報告、技術方案、工藝流程、技術指標、檢測報告等,請您聯系銷售工程師獲取。
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